Système de four PECVD
Ce produit est un système PECVD à ouverture coulissante de taille moyenne. Ce système de four tubulaire PECVD est équipé d'une alimentation plasma RF, d'un système de mélange de gaz à débit massique à trois voies (avec des plages de 1 à 100 SCCM, 1 à 200 SCCM et 1 à 200 SCCM), d'un four tubulaire ouvert de 60 mm de diamètre (avec bride à vide et tuyauterie de raccordement) et d'une pompe mécanique.
Informations sur les produits
| Modèle de produit | Système de four tubulaire PECVD coulissant ——OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Principaux paramètres du produit | Alimentation : 220 V 50/60 Hz ; Puissance nominale : 3,1 kW ; Température maximale de fonctionnement : 1 200 °C (<0,5 h) ; Température de fonctionnement continu : ≤1100°C ; Vitesse de chauffage recommandée : ≤10°C/min ; Longueur de la zone de chauffage : 440 mm ; Thermocouple : type K |
| Principales caractéristiques | L'alimentation RF peut améliorer le plasma et réduire considérablement la température expérimentale ; une augmentation et une baisse rapides de la température peuvent être obtenues en faisant glisser le corps du four ; la contrainte du film peut être contrôlée par la fréquence de l'alimentation RF ; la stœchiométrie peut être contrôlée par ajustement du processus ; divers matériaux tels que SiOx, SiNx, SiOxNy et (a-Si:H) peuvent être déposés |
| Élément chauffant | Fil en alliage fer-chrome-aluminium 0Cr21Al6Nb |
| Taille du tube du four | Diamètre du tube de quartz en option : Φ60 |
| Système de contrôle de la température | Comprend un contrôleur de température YD858 ; Contrôle PID et réglage automatique, contrôle programmable intelligent à 50 segments, avec fonctions d'alarme de surchauffe et d'épuisement professionnel ; précision du contrôle de la température: ± 1 ℃ |
| Alimentation plasma RF | Alimentation RF 300 W ; Puissance de sortie : 0 ~ 300 W réglable ; Fréquence RF : 13,56 MHz ; Correspondance automatique ; Niveau sonore < 50 dB ; Méthode de refroidissement : Refroidissement par air ; Tension d'entrée : 180 ~ 250 V |
| Interface de bride de mise sous vide | Configuration standard : une paire de brides à vide en acier inoxydable et des bagues d'étanchéité en silicone haute température ; les brides de sortie sont des brides à trois ports K16, KF25 et Φ8,2 ; la bride de sortie peut être raccordée à l'adaptateur KF25 avec un soufflet puis à la pompe à vide. |
| pompe à vide | Adoptez la pompe à vide mécanique à double palette rotative TRP-12 ; le degré de vide peut atteindre 10-2torr ; les accessoires de raccordement au vide sont équipés de colliers KF25 et de soufflets en inox pour le raccordement du four tubulaire et de la pompe à vide |
| Système d'approvisionnement en gaz | Système de mélange à débit massique à trois voies - GYS-3Z ; Alimentation : 220 V 50/60 Hz ; Plages de mesure : 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM ; Un manomètre mécanique est installé sur le panneau avant et relié au tuyau de mélange ; Plage de manomètre : -0,1-0,15 MPa ; Taille du réservoir de mélange : Φ80*120mm ; Le tuyau de raccordement interne est de Φ6,35 |
| Structure du four | Le corps du four peut être déplacé à gauche et à droite, et l'alimentation RF peut être déplacée à gauche et à droite. Le corps du four et l'alimentation RF sont installés sur la même glissière et utilisent le même tube de quartz. |
| Normes de certification et composants de base | Les composants essentiels de l'ensemble de la machine sont conformes aux normes de certification CE, UL, MET et autres ; les composants de base comprennent des composants électriques ABB, des fils et câbles certifiés UL, des instruments Omega, Yudian, Continental, etc. |
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Fibre de cristal Cie., Ltd de Zhejiang Nengcheng.
Fibre de cristal Cie., Ltd de Zhejiang Nengcheng. a été fondée en 2015. C'est une entreprise professionnelle qui développe et produit des matériaux haute température ultra-légers et économes en énergie, et commercialise des fours électriques de laboratoire, des fours électriques industriels et des fours électriques sur mesure. Professionnel Système de four PECVD Fabricants et Système de four PECVD UsineL'entreprise adhère au principe de « survie par la qualité, développement par la réputation » et défend la philosophie commerciale de « pragmatisme, intégrité et efficacité ». Nous nous engageons à fournir des solutions d'équipement complètes et de haute qualité aux clients des secteurs tels que la céramique, la métallurgie, l'électronique, le verre et le génie chimique. Nous proposons également des services tels que le grillage de poudres, le frittage de céramiques et les expériences à haute température aux universités, aux instituts de recherche et aux entreprises industrielles et minières. Parallèlement, nous nous efforçons de promouvoir le développement stratégique de la fibre d'alumine haute température légère, économe en énergie et respectueuse de l'environnement de Nengcheng dans le domaine des nouveaux fours, et aspirons à devenir un fournisseur de services de pointe internationalement reconnu dans l'industrie des équipements haute température. Système de four PECVD Sur mesure.
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