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Four tubulaire PECVD

Le four tubulaire PECVD est un système de four tubulaire de dépôt en phase gazeuse plasmatique, qui se compose d'une chambre de réaction en quartz, d'une alimentation radiofréquence, d'un système de mélange de gaz multicanal, d'une unité de vide et d'un système de contrôle de réaction. Le four utilise un matériau en fibre d'alumine de haute pureté et la surface est recouverte d'un revêtement d'alumine haute température importé pour prolonger la durée de vie de l'instrument et améliorer l'efficacité du chauffage. Un dispositif d'induction radiofréquence est installé devant le dépôt chimique en phase vapeur traditionnel pour ioniser le gaz de réaction et générer du plasma. La forte activité du plasma accélère la réaction. Il présente une bonne uniformité et répétabilité, peut former des films sur une grande surface, peut former des films à basses températures, présente une excellente couverture d'étapes, et est facile à contrôler la composition et l'épaisseur du film et facile à industrialiser. Il est largement utilisé dans la croissance de films minces tels que le graphène, le monoxyde de silicium, le nitrure de silicium, l'oxynitrure de silicium et le silicium amorphe (A-SI : H).

Mini four tubulaire à bascule de 1 200 °C
Four tubulaire de gros calibre
Informations sur les produits
Taille du tube du four (MM) Température de fonctionnement (°C) Degré de vide Puissance (KW) Tension Éléments chauffants Taux de chauffage
Φ60*2200 1100°C -0,1MPA
10PA
6,67*10-4PA 		3 220/380V Fil de résistance 1-20°C/MIN
Φ80*2200 3
Φ100*2200 4
Φ120*2200 5
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Fibre de cristal Cie., Ltd de Zhejiang Nengcheng.
Fibre de cristal Cie., Ltd de Zhejiang Nengcheng.
Fibre de cristal Cie., Ltd de Zhejiang Nengcheng. a été fondée en 2015. C'est une entreprise professionnelle qui développe et produit des matériaux haute température ultra-légers et économes en énergie, et commercialise des fours électriques de laboratoire, des fours électriques industriels et des fours électriques sur mesure. Professionnel Four tubulaire PECVD Fabricants et Four tubulaire PECVD UsineL'entreprise adhère au principe de « survie par la qualité, développement par la réputation » et défend la philosophie commerciale de « pragmatisme, intégrité et efficacité ». Nous nous engageons à fournir des solutions d'équipement complètes et de haute qualité aux clients des secteurs tels que la céramique, la métallurgie, l'électronique, le verre et le génie chimique. Nous proposons également des services tels que le grillage de poudres, le frittage de céramiques et les expériences à haute température aux universités, aux instituts de recherche et aux entreprises industrielles et minières. Parallèlement, nous nous efforçons de promouvoir le développement stratégique de la fibre d'alumine haute température légère, économe en énergie et respectueuse de l'environnement de Nengcheng dans le domaine des nouveaux fours, et aspirons à devenir un fournisseur de services de pointe internationalement reconnu dans l'industrie des équipements haute température. Four tubulaire PECVD Sur mesure.
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